化学势差公式 μn−μp=qV0\mu_n - \mu_p = qV_0μn−μp=qV0 是通过半导体中载流子化学势和内建电势的关系推导得出的。以下是详细推导过程:
1. 化学势定义
在热力学中,化学势(μ\muμ)是系统中粒子加入所需的能量。对于半导体,化学势与费米能级 (EFE_FEF) 直接相关。μn\mu_nμn 表示 nnn-型区域的电子化学势,对应于其费米能级。μp\mu_pμp 表示 ppp-型区域的空穴化学势,对应于其费米能级。
在热平衡下,整个系统的费米能级是相等的,即:
EF(n-type)=EF(p-type)
E_F (n\text{-type}) = E_F (p\text{-type})
EF(n-type)=EF(p-type)
但由于化学势的定义涉及到能量差异以及电场效应,μn\mu_nμn 和 μp\mu_pμp 的差异可以用电势差 V0V_0V0 来表示。
2. 内建电势 V0V_0V0 的定义
对于 pnpnpn 结,内建电势 V0V_0V0 是由 ppp-型区和 nnn-型区的掺杂浓度差引起的平衡电场导致的电压差。它由以下公式给出:
qV0=μn−μp
qV_0 = \mu_n - \mu_p
qV0=μn−μp
其中:
qqq 是电子电荷(单位:库仑),V0V_0V0 是内建电势(单位:伏特)。
3. 推导过程
(1)nnn-型和 ppp-型区域载流子浓度
对于 nnn-型区域:
电子浓度 nn=NDn_n = N_Dnn=ND(施主掺杂浓度)。空穴浓度 pn=ni2NDp_n = \frac{n_i^2}{N_D}pn=NDni2(少数载流子浓度,通过热平衡关系)。
对于 ppp-型区域:
空穴浓度 pp=NAp_p = N_App=NA(受主掺杂浓度)。电子浓度 np=ni2NAn_p = \frac{n_i^2}{N_A}np=NAni2(少数载流子浓度,通过热平衡关系)。
(2)费米能级差与浓度的关系
对于 nnn-型区域,费米能级 EF(n)E_F (n)EF(n) 相对于本征能级 EiE_iEi 的偏移为:
EF(n)−Ei=kTln(NDni)
E_F (n) - E_i = kT \ln\left(\frac{N_D}{n_i}\right)
EF(n)−Ei=kTln(niND)
对于 ppp-型区域,费米能级 EF(p)E_F (p)EF(p) 相对于本征能级 EiE_iEi 的偏移为:
EF(p)−Ei=−kTln(NAni)
E_F (p) - E_i = -kT \ln\left(\frac{N_A}{n_i}\right)
EF(p)−Ei=−kTln(niNA)
费米能级差(即化学势差)为:
EF(n)−EF(p)=kTln(NDni)+kTln(niNA)
E_F (n) - E_F (p) = kT \ln\left(\frac{N_D}{n_i}\right) + kT \ln\left(\frac{n_i}{N_A}\right)
EF(n)−EF(p)=kTln(niND)+kTln(NAni)
合并公式,得到:
EF(n)−EF(p)=kTln(NDNA)
E_F (n) - E_F (p) = kT \ln\left(\frac{N_D}{N_A}\right)
EF(n)−EF(p)=kTln(NAND)
4. 化学势差与内建电势的关系
化学势差与电势差通过电子电荷 qqq 联系:
μn−μp=qV0
\mu_n - \mu_p = qV_0
μn−μp=qV0
将 EF(n)−EF(p)E_F (n) - E_F (p)EF(n)−EF(p) 代入化学势公式:
qV0=kTln(NDNA)
qV_0 = kT \ln\left(\frac{N_D}{N_A}\right)
qV0=kTln(NAND)
因此,内建电势 V0V_0V0 由掺杂浓度 NDN_DND 和 NAN_ANA 决定。
5. 推导总结
最终关系为:
μn−μp=qV0=kTln(NDNA)
\mu_n - \mu_p = qV_0 = kT \ln\left(\frac{N_D}{N_A}\right)
μn−μp=qV0=kTln(NAND)
参数含义:
μn,μp\mu_n, \mu_pμn,μp: 分别为 nnn-型和 ppp-型区域的化学势。qqq: 电子电荷 (1.6×10−19 C1.6 \times 10^{-19}\,\text{C}1.6×10−19C)。V0V_0V0: 内建电势。ND,NAN_D, N_AND,NA: nnn-型和 ppp-型掺杂浓度。nin_ini: 本征载流子浓度。
这个公式解释了化学势差、掺杂浓度和内建电势之间的物理关系。